| 設備名 | エネルギー分散型 蛍光X線分析装置（EDX） |
|---|---|
| メーカー | EDAX / オックスフォード・インストゥルメンツ |
| 型式 | Element / Ultim Max |
| 仕様 |
|
| 使用用途 | SEM観察領域（微小領域）での、元素の定性/定量分析 |
| 設備名 | エネルギー分散型 蛍光X線分析装置（EDX） |
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| メーカー | EDAX / オックスフォード・インストゥルメンツ |
| 型式 | Element / Ultim Max |
| 仕様 |
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| 使用用途 | SEM観察領域（微小領域）での、元素の定性/定量分析 |
EDXは、試料表面の微小部の元素分析を行う装置です。
走査電子顕微鏡と同様、電子ビームを試料にあてると、特性Ｘ線が試料から飛び出します。この特性Ｘ線は元素の種類により固有の波長を有しています。これら特性Ｘ線を検出することにより、試料に含まれている元素を知ることができ、それぞれのエネルギー強度を測定することで定量分析も可能となります。
マッピング機能により、元素の分布状態を確認することができます。