| 設備名 | エネルギー分散型 蛍光X線分析装置（EDX） |
|---|---|
| メーカー | SHIMADZU |
| 型式 | EDX-700 |
| 仕様 |
|
| 使用用途 | 元素の定性・定量分析 |
| 設備名 | エネルギー分散型 蛍光X線分析装置（EDX） |
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| メーカー | SHIMADZU |
| 型式 | EDX-700 |
| 仕様 |
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| 使用用途 | 元素の定性・定量分析 |
物質は原子によって構成されており、この物質にX線、電子線、γ線などを照射すると物質から原子特有の波長（エネルギー）のX線（特性X線）が発生します。この中でX線照射により発生するX線を蛍光X線と呼称します。この蛍光X線は、元素固有の波長（エネルギー）を持っているので、その波長を調べることにより元素の定性分析ができます。また、蛍光X線の強度は元素の含有量に比例するので、その強度を測定することにより定量分析も可能です。
非破壊で迅速に分析ができるが特徴で、固体、粉体、液体、ディスク、薄膜等のあらゆる試料形態に対応します。