| 設備名 | クロスセクション ポリッシャー（ＣＰ） |
|---|---|
| メーカー | ＪＥＯＬ |
| 型式 | SM-09020, IB-19530CP, IB-19520CCP |
| 仕様 |
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| 使用用途 | 断面試料の作製 |
| 設備名 | クロスセクション ポリッシャー（ＣＰ） |
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| メーカー | ＪＥＯＬ |
| 型式 | SM-09020, IB-19530CP, IB-19520CCP |
| 仕様 |
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| 使用用途 | 断面試料の作製 |
試料がわずかに出るように試料面上に遮蔽板をセットします。その上からアルゴンイオンビームを垂直に照射すると、遮蔽板からはみ出ている試料の一部（照射部）が削られていきます。イオン照射を受ける領域と、遮蔽板で遮蔽される領域の境界に沿って断面が形成されます。
柔らかい銅、アルミ、金、はんだなどは、機械研磨するとつぶれたり、キズが残ってしまうため、イオン研磨を行って凹凸のない平滑な断面を作成します。また、熱の影響を受けやすい亜鉛めっき鋼板、インジウムなどは、液体窒素を使用して冷却加工することで試料へのダメージを軽減します。
高精度な断面観察や、精確なめっき膜厚測定に使用します。
通常加工では、銅基板上にインジウム成分が飛散している様子が見られます。
冷却加工では見られません。