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1-4.工程紹介〜レジスト剥離編〜

レジスト剥離装置外観

レジスト剥離装置外観 / 1-4.工程紹介〜レジスト剥離編〜
※液体レジスト剥離は簡易槽にて剥離処理

レジスト剥離工程原理

レジスト剥離工程原理 / 1-4.工程紹介〜レジスト剥離編〜
液体レジストは溶解剥離に対して、ドライフィルムレジストは膨潤剥離となります。

レジスト剥離仕様

【レジスト剥離液種】
 液レジスト  :アルカリ性専用剥離液
 ドライフィルム:アルカリ性専用剥離液

【レジスト剥離処理サイズ】
 サイズ    :小片(角基板)~Φ200mm
         ※Φ300mmは要相談になります。




キーワード:レジスト剥離、マイクロバンプ、ドライフィルムレジスト
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