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1-3.工程紹介〜めっき編〜

めっき装置外観

めっき装置外観 / 1-3.工程紹介〜めっき編〜
【保有設備】
手動ライン   :2台
手動単体機   :3台
スピンドライ乾燥:1台
オーブン乾燥  :1台

めっき工程原理

めっき工程原理 / 1-3.工程紹介〜めっき編〜
●シード層Cu表面の洗浄および活性を実施(表面の汚れや酸化膜除去)
●金属がイオン化されためっき液に投入して、整流器にて通電すれば開口部分にめっきが析出する

めっき仕様

【めっき種類】
 Cu、Ni、Au、SnAg その他要相談
 ※ラボレベルではAuSn、Inなど過去に試作実績あり

【対応可能なウェハサイズ】
 4インチ :△
 5インチ :△
 6インチ :〇
 8インチ :〇
 12インチ :△
 ※その他サイズ、形状については要相談
 ※ウェハ厚みは~1mmt





キーワード:マイクロバンプめっき、ウェハ、銅ピラーバンプ、半田バンプ
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