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1-2.工程紹介〜フォトリソ編〜

フォトリソ装置外観

フォトリソ装置外観 / 1-2.工程紹介〜フォトリソ編〜
レジスト塗布装置、DFR(ドライフィルムレジスト)ラミネーター、露光装置、現像装置

フォトリソ工程原理

フォトリソ工程原理 / 1-2.工程紹介〜フォトリソ編〜
【ポジレジスト】
 紫外線が照射された箇所のレジストが消失します

【ネガレジスト】
 紫外線が商社された箇所のレジストが硬化します

上記のように、露光マスクのパターン白黒によりレジストパターン形成されます

フォトリソ仕様

■対応可能仕様一覧
 【レジスト種類】
  液体レジスト(ネガ型/ポジ型)、ドライフィルムレジスト(ネガ型)
 
 【対応可能なウェハサイズ】
  4インチ:△
  5インチ:△
  6インチ:〇
  8インチ:〇
  12インチ:△
  ※その他サイズ、形状、△についてはご相談ください

 【スペック】
  レジスト厚み  :数μm〜100μm程度
  開口径     :数十μm〜
  ※レジスト膜厚により開口径スペックが異なるためにご相談ください



キーワード:マイクロバンプめっき、フォトリソ、パターニング、開口径
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