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走査型電子顕微鏡(SEM)による表面観察

 SEMによる表面観察について紹介します。
 SEMは、試料に電子線を照射することで得られる情報から、組成像観察や凹凸状態の確認をすることができます。さらに、電子線の強度(加速電圧)を変化させることで、より表面の状態を観察することができます。
 事例写真の加速電圧15kVの条件では、電極全体が灰色に見えていますが、加速電圧10kVの条件では、変色箇所は黒色になり、はっきりと違いが見られます。これより変色箇所はより表面で発生しており、軽元素(炭素や酸素など)であることが確認できます。
 加速電圧を低くすることにより、試料から得られる情報も少なくなるため、装置によって観察できる限界があります。また、状態によっては観察できないものがあります。その場合は、AES(オージェ分析)など他の解析が必要となります。
 ご相談いただきますと、サンプルの状態や不具合の内容によって、有効な分析のご提案とお見積もりを提示させていただいております。まずはお気軽にご相談ください。


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テーマ:キラりと光る分析力    【 2012年09月14日 】