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クロスセクションポリッシャによる断面観察、高倍率観察

イオンビームによる加工はFIBという解析装置が主流ですが、このクロスセクションポリッシャは研磨だけを行う加工装置なので、FIBよりも処理領域が広いのが特徴です。実用頻度が高く、当研究所にある2台は常にフル稼働です。
加工時間は1箇所約4時間、さらに装置にセットするまでに試料を小さくカットし、目的箇所寸前まで調整する前処理があるので、トータル時間は機械研磨に比べてかなり長くなります。解析する目的や内容に応じて、機械研磨と使い分ける判断力が必要です。また、人による前処理は、仕上がりの精度(狙い位置)を左右する重要な作業になります。すばらしい装置ですが、やはり作業者が日々積み重ねてきた技術力がなくては成功しないのです。


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クロスセクションポリッシャ

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めっきクリニック

テーマ:キラりと光る分析力    【 2011年06月17日 】