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ナノめっき特集No.8 【MEMS電鋳】


●MEMS電鋳
MEMS = Micro Electro Mechanical Systemsです。
ナノ膜厚制御によるナノ金型に応用など、安価でナノ制御ができる技術です。
・□300mmサイズフォトリソ〜電鋳一貫生産可能
・□50μm×200μm アスペクト比4を実現しています。
・多段フォトリソにより複雑な構造体作成可能、パターン間を狭く配置、取り数を増やすことができます。
・豊富なめっき技術による微細加工により微細部品を形成できます。


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(電鋳)エレクトロフォーミング

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ナノめっき

テーマ:ナノめっき    【 2010年05月18日 】