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半導体ウェアめっきでのクリーンワークについて

写真1:クリーンスーツ着用
【写真1:クリーンスーツ着用】
  • 写真2:粘着マット 【写真2:粘着マット】

我が社で行っている「半導体ウェハめっき」はクリーンルーム内での作業を行う上で、当たり前のクリーンワークを作業者一人一人が日々特別なことと心掛けて作業しています。

クリーンワークとはクリーンルーム内で作業を行う中で最も重要な事です。
クリーンルームの設備を設けただけでは、クリーンルームの性能を保つ事は出来ません。
半導体ウェハを取扱う作業者一人一人が「クリーンワーク」という統一されたルールを基に生産活動を行い、品質の維持及び向上に努めています。

【クリーン度管理規格】
・対象清浄度クラス6
・対象粒径>=0.5μm
・上限濃度35,000(個/m3)
・測定機器パーティクルカウンタ

【クリーンワーク基本原則】
 クリーンワークには基本4原則があります。これらの4原則を中心にクリーンルーム清浄度が 満たされるよう色々な施策を実施しています。

1. ダストを持ち込まない
2. ダストを発生させない
3. ダスト発生の際は速やかに取り除く
4. 製品にダストを付着させない

クリーンワーク事例として、以下の事を徹底しております。
@クリーンルーム入室の際、更衣室でクリーンスーツ、フード、シューズ、マスクをそれぞれ正しく着用する。クリーンスーツを着衣後、手洗いを行い、ハンドドライヤーで乾燥してから手袋をする。 (写真1)
 Aクリーンルーム内ではクリーン紙を使用。
B製品は床から60cm以内の高さの所には置かない。
(作業者が歩行した際、床にあるダストが舞い上がり製品への付着を避けるため)
 Cエアシャワー内で付着したダストを払い落とし、同時に粘着マットにてクリーンシューズ裏に付着した汚れを除去。 (写真2)
Dクリーンルーム内に製品や備品を搬入する際は、エアシャワーを通して付着ダストを除去。


リンク
ウェハへの無電解バンプめっき技術

テーマ:心ときめく技術力    【 2009年08月25日 】