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蛍光X線装置の膜厚信頼性管理について
















めっきの膜厚を測定する方法にはいろいろありますが、ここでは、もっともよく使用されている、蛍光X線膜厚測定についてご紹介します。特に、装置の仕様や測定の原理については、分析機器の欄で説明しているので、ここでは、測定性能の向上と安定した測定のための管理について説明します。
 測定の性能を向上させるには、測定条件の最適化と測定機能の充実が必要ですが、何よりも測定システムの安定が重要です。また、測定システムは、ハードウエア、ソフトウエアが密接に関連していますが、その中でも、
1. X線発生装置 (X線の発生源)
2. 検出器 (X線の受信機)
3. 検量線 (X線と膜厚を関連付ける)
の3大要素は、安定と管理が不可欠です。特にX線発生装置と検出器は、季節変動や経時変化によって影響されるため、実測定の前の十分な確認が必要です。そのため、ウォームアップの他、始業前の点検や、試験片による確認を行っています。
 ウォームアップでは、X線の発生から検出までの経路で、専用の機能を使用し、厳密な確認を行っています。また、検量線は、一般の計測器と同様、トレーサビリティーの維持のため、DBによる履歴管理を行っています。


リンク
蛍光X線膜厚測定装置

テーマ:心ときめく技術力    【 2009年03月23日 】