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ウェハセット位置によるめっき膜厚分布評価とシェア強度(密着性)測定結果について

図1 測定Point
【図1 測定Point】
  • 図2 密着性評価 【図2 密着性評価】
  • 図3 膜厚分布 【図3 膜厚分布】

2007年9月から直径300ミリウエハーの低コストのウエハー・バンプ無電解メッキ加工を開始しました。弊社のウェハラインではφ8インチウェハで50枚/1バッチ処理(2ウェハキャリア)が可能であり、現在、そのウェハラインの評価を実施しております。今回はその中のウェハセット位置によるめっき膜厚分布評価とシェア強度(密着性)測定結果についてご紹介させて頂きます。図1のように50枚中6枚抜き取り、そのシェア強度と膜厚を測定致しました。図2、図3のような結果が得られ、位置によるシェア強度のバラツキ、膜厚のバラツキが非常に少ない事がお分かりになるかと思います。このように弊社のUBMめっきはバラツキの少ない特徴を有しております。


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ウェハへの無電解バンプめっき技術

テーマ:心ときめく技術力    【 2009年02月10日 】