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ウェハへの無電解バンプめっき

@下地電極はAl、AlSi、AlSiCu以外にCu電極にも対応。
Aウェハサイズはφ4〜8インチ対応出来ます。
  φ12インチにつきましては、現状ではラボレベル、今秋からは量産機レベルで対応出来ます。
Bめっき皮膜は、Ni、Pd,F−Au、厚付けAuが出来ます。
  それ以外のめっき皮膜も対応いたしますが、一度御相談下さい。
CNi皮膜は鉛フリー対応可能。
Dフォトリソ装置を完備しておりますので、パーターニングも対応可能です。
E豊富な分析解析装置を駆使して迅速なセットアップ化を実現!


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ウェハへの無電解バンプめっき技術

テーマ:心ときめく技術力    【 2007年05月25日 】