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TSV向けめっき技術:ビア内めっき析出性確認

TSV・TGVめっき後の分析方法の一つにラミノCTを用いた解析があります。
TSVのめっき状態評価が非破壊で可能!
医療現場でも用いられているX線CTと同じで、X線を照射することで物体内部の構造を透視することが可能です。
ラミノCTの特徴は、平たいもの(TSVウエハなど)でも高分解能で解析できることです。2μm〜50μmの微小状態を検出できます。CT画像例につきましては(図2)に示します。

キーワード:自動車、車載、エネルギー、環境、インフラ、システム、医療、メディカル、バイオ、航空機、ロボット、宇宙


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TSV向けめっき技術

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テーマ:心ときめく技術力    【 2015年08月21日 】