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今さら聞けないめっき技術:‘フォトリソ’って何?PRATB

Q)質問 (3)
フォトリソ工程でポジレジストとネガレジストを使用した場合、同一マスクではパターン形成はどうなるのでしょうか?

A)答
ポジレジストとネガレジストでは下図のように反転したパターン形成になります。
添付図のように、文字が反転しますのでマスク製作する際はポジ・ネガどちらのレジストを使用するかによって露光部・未露光部を決めます。


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今さら聞けないめっき技術:‘フォトリソ’って何?

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テーマ:今さら聞けないめっき技術    【 2013年09月17日 】