設備名 |
サーフェイスプロファイラー |
メーカー |
KLA−Tencor |
型 式 |
P-10 |
仕 様 |
[測定長] 150mm [測定速度] 1μm/sec〜25μm/sec [サンプリングレート] 50,100,200,500,1000Hz(仮想的) [水平分解能] 100Å(1μm/sec.測定速度時) [垂直分解能] 0.0008Å−0.08Å [倍率] 150−600x,183−750x,300−1200x [最大試料サイズ] 10x10インチ [試料重量] ≦2.2kg |
仕様用途 |
表面状態の測定 |
設置・登録日 |
2000/01 |
備 考 |
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原理


■装置の概略図.gif
この装置は、先端の尖った触針(材質:ダイヤモンド)で表面を走査して粗さを測定します。 二次元、三次元のデータが得られるので、表面全体の特徴が視覚的に把握できます。
粗さパラメーターの種類

■二次元表示観察例.gif
・算術平均粗さ(Ra) ・最大高さ(Ry) ・十点平均粗さ(Rz) ・凹凸の平均間隔(Sm) ・局部山頂の平均間隔(S) ・負荷長さ率(tp)
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