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‘フォトリソ’って何?

‘フォトリソ’って何?PRAT@

Q)質問 (1)
半導体や基板の配線加工でフォトリソという言葉を聞きますが、フォトリソはどのような技術でしょうか?また、フォトリソはどのような特徴があるのでしょうか?

A)答
正式にはフォトリソグラフィーと言い、感光性のレジストを基材に塗布し露光することで、露光部と未露光部で所望のパターンを形成する技術になります。
特徴としては微細加工に向いており、半導体ICの配線はナノオーダーでの配線が施されており、フォトリソ技術が使用されています。
nmオーダー配線やμmオーダーの配線形成するには、使用する感光性レジストや露光波長により決定されます。

感光性レジスト種類

感光性レジスト種類 / ‘フォトリソ’って何?

Q)質問 (2)
感光性レジストにはどのような種類があり、それぞれの特徴は何でしょうか?

A)答
感光性レジストは大きく分けて、ポジ型・ネガ型があり液状レジストとドライフィルムレジストが御座います。特徴として、ポジ型は微細パターン形成に向いておりますが、ドライフィルムレジストは微細パターン形成には不向きです。

フォトリソの方法

フォトリソの方法 / ‘フォトリソ’って何?

Q)質問 (3)
フォトリソ工程でポジレジストとネガレジストを使用した場合、同一マスクではパターン形成はどうなるのでしょうか?

A)答
ポジレジストとネガレジストでは下図のように反転したパターン形成になります。
右図のように、文字が反転しますのでマスク製作する際はポジ・ネガどちらのレジストを使用するかによって露光部・未露光部を決めます。

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