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エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)

設備名 エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)
メーカー SHIMADZU
型  式 μEDX-1200
仕  様 [検出可能元素]Al〜U
[検出器]Si(Li)半導体
[1次X線フィルタ]5種自動交換方式
[X線集光方式]ポリキャピラリ
[分析径]50μm(@8.0keV)
[試料最大寸法]W200×D300×H400mm
仕様用途 元素の定性・定量・マッピング分析(微小部分の棲み分け分析)
設置・登録日 2009/03
備  考

[エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)]
[エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)] / エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)

装置写真


[特長]

試料の元素分析に加え、マッピング機能を搭載している。さらにX線を効率よく集めて試料に照射するポリキャピラリを採用している。50μm φの極微小エリアに絞った分析によりこれまで測定が出来なかった微小部品内の微小部分の環境規制物質スクリーニング分析が可能になりました。


[RoHS分析]Pbフリー微小チップ部品の分析事例
[RoHS分析]Pbフリー微小チップ部品の分析事例 / エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)

従来は、チップ部品の抵抗部と電極部を別々に測定できませんでしたが、この装置を使用することによりPbが電極部ではなく抵抗部から検出されている事がわかります。



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