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クロスセクション ポリッシャー(CP)

設備名 クロスセクション ポリッシャー(CP)
メーカー JEOL
型  式 SM−09010
仕  様 [試料サイズ] 最大W11o×H10o×T2o
[研磨範囲] 最大 幅800μm×深さ350μm
[ミリングスピード] 1.3μm/min(加速電圧:6KV、試料Si)
仕様用途 断面試料の作成
設置・登録日 2003/09
備  考 従来の研磨では完璧な鏡面仕上げが難しい柔らかい銅、アルミ、金、はんだ、高分子など、切断の難しい硬いセラミックスやガラス、また、これらの硬い試料と柔らかい材料が混在している物の断面を作ることができます。多層膜の形状観察や膜厚測定、粒子の方位解析(EBSD)などのための試料作成に適しています。

測定原理
測定原理 / クロスセクション ポリッシャー(CP)

アルゴンイオンを照射してエッチング研磨を行います。従来のFIBと比較して試料に与える損傷は小さく、スピードも速く、広い幅を研磨できます。



CP処理後FE−SEM観察写真
CP処理後FE−SEM観察写真 / クロスセクション ポリッシャー(CP)

従来の機械研磨ではつぶれて観察できない構造を観察することが可能です。




分析機器
外観分析
デジタルマイクロスコープ
走査型電子顕微鏡(SEM)
電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
3次元レーザー顕微鏡
サーフェイスプロファイラー
卓上顕微鏡(Miniscope)
無機分析
吸光分光光度計
自動滴定分析装置
キャピラリー電気泳動分析装置
エネルギー分散型X線分析装置(EDX)
マルチ型ICP発光分析装置(ICP-OES)
VA重金属分析装置
エネルギー分散型 蛍光X線分析装置(EDX)
エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)
めっき液自動分析装置
高分解能連続光源原子吸光分析装置(HR-CS AAS)
ICP-OES
有機分析
CVS分析装置
CVS分析装置(ECI製)
その他
クロスセクション ポリッシャー(CP)
埋め込み研磨ラインアップ
特性分析
接触角計
ソルダーシェアテスター
不飽和型超加速寿命試験装置(PCT)
引張試験機
マルチソルダーテスター
温湿度試験機
はんだ濡れ性試験機
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