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エネルギー分散型X線分析装置(EDX)

設備名 エネルギー分散型X線分析装置(EDX)
メーカー JEOL
型  式 JED-2110
仕  様 [検出可能元素] B〜U
[検出器] Si(Li)半導体
[分解能] 144eV以下(5.9keV、1000cps)
[分析レート] 100〜100kcps
[分析対象領域] 線、面
[分析結果 ] 線、面の定性/定量及びデジタルマッピング
仕様用途 SEM観察領域(微小領域)での、元素の定性/定量分析
設置・登録日 1999/11
備  考 走査型電子顕微鏡(JSM-5800LV)に付属

測定原理

EDXは、試料表面の微小部の元素分析を行う装置です。
走査電子顕微鏡と同様電子ビームを試料にあてると、特性X線が試料から飛び出します。この特性X線は元素の種類により、それ固有の波長を有しています。これら特性X線を検出することにより、試料に含まれている元素を知ることができます。また、それぞれのエネルギーについて強度を測定し、標準強度と比べることによって定量分析も可能となります。


主な機能
主な機能 /  エネルギー分散型X線分析装置(EDX)

・定性分析
・定量分析
 面分析
 線分析
・マッピング分析 など


特長

資料
  ■マッピング分析測定例.jpg

・試料が超微量でよい。
・走査像観察装置と併用すれば、各元素の試料内分布像も得ることができます。



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