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サーフェイスプロファイラー

設備名 サーフェイスプロファイラー
メーカー KLA−Tencor
型  式 P-10
仕  様 [測定長] 150mm
[測定速度] 1μm/sec〜25μm/sec
[サンプリングレート] 50,100,200,500,1000Hz(仮想的)
[水平分解能] 100Å(1μm/sec.測定速度時) 
[垂直分解能] 0.0008Å−0.08Å 
[倍率] 150−600x,183−750x,300−1200x 
[最大試料サイズ] 10x10インチ
[試料重量] ≦2.2kg
仕様用途 表面状態の測定
設置・登録日 2000/01
備  考

原理
原理 /  サーフェイスプロファイラー

資料
  ■装置の概略図.gif

この装置は、先端の尖った触針(材質:ダイヤモンド)で表面を走査して粗さを測定します。
二次元、三次元のデータが得られるので、表面全体の特徴が視覚的に把握できます。


粗さパラメーターの種類

資料
  ■二次元表示観察例.gif

・算術平均粗さ(Ra)
・最大高さ(Ry)
・十点平均粗さ(Rz)
・凹凸の平均間隔(Sm)
・局部山頂の平均間隔(S)
・負荷長さ率(tp)



分析機器
特性分析
接触角計
ソルダーシェアテスター
不飽和型超加速寿命試験装置(PCT)
引張試験機
マルチソルダーテスター
温湿度試験機
はんだ濡れ性試験機
外観分析
CCD付き顕微鏡
走査型電子顕微鏡(SEM)
電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
3次元レーザー顕微鏡
サーフェイスプロファイラー
卓上顕微鏡(Miniscope)
無機分析
吸光分光光度計
自動滴定分析装置
キャピラリー電気泳動分析装置
エネルギー分散型X線分析装置(EDX)
マルチ型ICP発光分析装置(ICP-OES)
VA重金属分析装置
エネルギー分散型 蛍光X線分析装置(EDX)
エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)
めっき液自動分析装置
高分解能連続光源原子吸光分析装置(HR-CS AAS)
ICP-OES
有機分析
CVS分析装置
CVS分析装置(ECI製)
その他
クロスセクション ポリッシャー(CP)
埋め込み研磨ラインアップ
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