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3次元レーザー顕微鏡

設備名 3次元レーザー顕微鏡
メーカー レーザーテック
型  式 LM21
仕  様 [解像度] 0.3μm(×100倍対物レンズ)
[光源] He−Neレーザー
[波長] 6328Å
[出力] 1.5mW
[水平走査] 15.73kHz
[垂直走査] 60Hz
[インターレース] 2:1
[観察範囲] 1350μm(×10倍対物レンズ)
        135μm(×100倍対物レンズ)
仕様用途 微小領域の3次元形状観察及び表面粗さ測定
設置・登録日 1999/11
備  考

測定原理
測定原理 /  3次元レーザー顕微鏡

映像
  ■映像(mpgファイル).mpg
  ■映像(movファイル).mov

資料
  ■構成(図).gif
  ■観察例.jpg

走査型レーザー顕微鏡は、レーザー光を走査して画像を描き出す顕微鏡です

レーザー光を音響光学偏向素子(AO素子)とガルバノミラーで走査して、試料からの反射光をCCDイメージセンサーで受光し、画像を得ます。また、検出器の前にピンホールを配置することにより、焦点のあった場合のみ光がピンホールを通過するため、不要散乱光を大幅に取り除き高解像度が実現します。このタイプは共焦点型と呼ばれ、その特徴を生かし、試料をZ軸方向に移動させ、焦点位置を変えて像を積算し、画像メモリーで足し合わせることによって、高さ情報や表面の3次元立体形状の情報が得られます。



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