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電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

設備名 電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)
メーカー JEOL
型  式 JSM−6700F
仕  様 [試料サイズ] φ8インチウエハー装着可能φ7インチウエハー全面観察可能
[加速電圧] 0.5〜30kV
[分解能] 1.0nm(AccV15kV)2.2nm(AccV1kV)
[倍率] ×25〜19,000(LMモード)×100〜650,000(SEMモード)
[像の種類] 二次電子像
仕様用途 物質表面の高倍率観察
設置・登録日 2001/04
備  考

電界放射電子銃
電界放射電子銃 /  電界放射形走査電子顕微鏡(FE-SEM)

資料
  ■電界放射電子銃(図).gif

FEエミッタ先端部を引き出し電極で作られる強電界の中に位置させて、この電界の働きにより、エミッタ先端から電子を加熱することなく放出させます。そして、放出した電子を加速させるための加速電極によってFE電子銃が構成されます。


特長

資料
  ■白金コートカーボン ×30万倍.gif

1.大型試料でも高分解能
強励磁コニカル対物レンズはインレンズ対物レンズと同等以上の性能を持っています。インレンズでは試料は小さいものに限られますが、このレンズは大型試料でも高分解能が得られます。

2.冷陰極電界放射型電子銃(コールドFEG)
コールドFEGは、放射電子のエネルギー幅が小さいので、超高分解能観察に適しています。また、常温で作動するので、数年という超寿命が期待できます。

3.自動軸調整
コニカル電極形電子銃は加速電圧を変えた時の軸ずれが小さいので、コンピュータによる自動軸合わせが可能です。

4.試料照射電流の連続調整
対物レンズ絞りを変えずに試料照射電流を連続的に1pA〜2nAまで変えることができ、分解能もほぼ同じです。

5.高精細デジタル画像表示
1280〜1024画素の高分解能デジタル画像を常時表示します。視野移動時にも高分解能デジタル画像の観察ができ、また、フォーカス・非点補正調整もコントラストの良い鮮明な画像で調整できます。



分析機器
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ソルダーシェアテスター
不飽和型超加速寿命試験装置(PCT)
引張試験機
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温湿度試験機
はんだ濡れ性試験機
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エネルギー分散型 蛍光X線分析装置(EDX)
エネルギー分散型 微小部蛍光X線分析装置(μEDX)
めっき液自動分析装置
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ICP-OES
有機分析
CVS分析装置
CVS分析装置(ECI製)
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