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走査型電子顕微鏡(SEM)

設備名 走査型電子顕微鏡(SEM)
メーカー HITACHI
型  式 SU3500
仕  様 [試料サイズ] φ200mm
[観察モード] 高真空モード、低真空モード
[分解能]
二次電子像3.0nm(AccV30kV、WD=5mm、高真空モード)
反射電子像4.0nm(AccV30kV、WD=5mm、低真空モード)
[倍率] ×5〜×300,000
[像の種類] 二次電子像、反射電子像
仕様用途 物質表面の高倍率観察
設置・登録日 2016/02
備  考 エネルギー分散型X線分析装置(Element/EDAX)内蔵

測定原理
測定原理 /  走査型電子顕微鏡(SEM)

電子線を試料に照射し、放出される二次電子や反射電子などを検出することで、高倍率で試料表面の観察を行います。



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