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走査型電子顕微鏡(SEM)

設備名 走査型電子顕微鏡(SEM)
メーカー JEOL
型  式 JSM-5800LV
仕  様 [試料サイズ] φ8インチウエハー装着可能φ7インチウエハー全面観察可能
[観察モード] 高真空モード、低真空モード(LVモード)
[分解能] 3.0Mn(WD8mm、AccV30kV
[倍率] ×18〜×300,000(136ステップ)
[像の種類] 二次電子像、反射電子像(立体像、組成像、凹凸像)
仕様用途 物質表面の高倍率観察
設置・登録日 1999/11
備  考 エネルギー分散型X線分析装置(JED-2110)内蔵

測定原理
測定原理 /  走査型電子顕微鏡(SEM)

試料に細く(数nm)絞った電子線を照射し、それを順次走査していきます。その時発生する信号を検出し、増幅して観察用ブラウン管に導きます。観察用ブラウン管の明るさはその信号によって輝度変調されますが、その電子線は試料上の電子線と同期して走査しますので、試料上の位置とブラウン管の位置が対応します。信号の種類を変えることによって形状を再現し組成像を得ることができます。


得られる情報

資料
  ■量子発生の深さと空間分解能(Goldsteinによる).gif
  ■構成例(図).gif
  ■観察例(図).jpg

試料に電子線を照射すると、入射電子と試料を構成する原子との相互作用によりいろいろな信号が発生します。下図はそれぞれの信号が発生するだいたいの深さを示します。



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